Enabling technology for MEMS and nanodevices
- Författare
- (Edited by H. Baltes ...)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley-VCH | cop. 2004 | Tyskland, Weinheim | xii, 427 sidor. : ill. | 3-527-30746-X |
| Wiley-VCH | c2004 | Tyskland, Weinheim Germany | 1 online resource (xii, 427 sidor.) ill. | 978-3-527-61670-1 |